中微公司:公司 12 英寸高端刻蝕設備已應用於 5nm 晶元生產線

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據《科創板日報》報道,中微公司董事長、總經理尹志堯今日表示,公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從 65 納米到 14 納米、7 納米和 5 納米及其他先進的集成電路加工製造生產線和先進封裝生產線。

中微公司:公司 12 英寸高端刻蝕設備已應用於 5nm 晶元生產線

其中,公司開發的 12 英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶最先進的生產線上並用於 5 納米、5 納米以下器件中若干關鍵步驟的加工

中微公司 2 月披露的 2020 年業績快報顯示,中微公司 2020 年刻蝕設備收入為 12.89 億元,同比增長約 58.49%;由於市場原因,中微公司 2020 年 MOCVD 設備收入為 4.96 億元,同比下降約 34.47%。

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